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■ ?? ??: 28 ??; ? IC ?? ??, ?? ?? AMAT, NVLS, Nanometrics, TSMC, SMIC, HHGRACE, CSMC
■ ??: AMAT China/Korea, Lam China, WXSST, AST, KVL, AUTH, STI (???) SSS (US) Entigers (US) SMFL (Japan) Faeth (Germany) O-tech (Japan)
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